Обзор методов получения пленок и их свойства
- ..
:
:
: -53
1999
.
.
.
.
,
. ,
.
. ,
.
.
, .
- , .
- .
.
.
.
.
- .
.
.
.
.
,
,
,
.
.
: ,
: , ,
, -
.
.
.
-
. , ,
.
, .
.
.
, ,
, ,
,
, ,
.
( ) ( ).
, .
.
.
.
(
) ,
.
: ,
, -
- , .
,
.
.
,
(), ,
, .
: , ,
, , -.
50-24000 , 0,005-0,5 .
. -
, .
, ,
() .
,
:
,
,
, .
:
. ,
, , ,
, . .
.
, , .
, ,
.
, 2-3
. ( 1500 )
.