«  »

Обзор методов получения пленок и их свойства



- ..





:

:

: -53

1999



.

.

.

.

,



. ,
.

. ,
.

.

, .

- , .


- .

.

.

.

.

- .

.

.

.


.
,
,
,
.


.
: ,
: , ,
, -
.




.



.
-

. , ,
.

, .

.

.

, ,
, ,
,
, ,
.
( ) ( ).

, .



.

.
.
(
) ,
.


: ,
, -
- , .


,
.
.
,
(), ,
, .

: , ,
, , -.



50-24000 , 0,005-0,5 .



. -
, .
, ,
() .

,

:
,
,
, .

:

. ,

, , ,
, . .

.
, , .


, ,
.


, 2-3
. ( 1500 )
.


?
?
?