Методы контроля в производстве интегральных микросхем
.
.
,
.
, ,
: , ,
.
, ,
. , p-n - ,
.,
,
.
,
.
.
,
.
.
.
80 400. ,
, ,
, .
,
.
,
, .
,
.
,
.
.
, .
,
,
.
, ,
.
,
,
.
. ,
,
.
, .
. -
,
.
,
.
.
:
1*10-3 2 ,
2, 30
, ,
.
,
.
.
,
.
, ,
, ,
, ,
, 0.5 .
.
, ,
, .
100%-
- .
,
, .
,
. ,
,
.
,
.
,
, , .
,
. ,
, 200 ,
.
, ,
.
.
,
,
. ,
(.1).
,
.
,
.
.
.
:
,
.
.
.
,
,
.
,
, , ,
, .
.
,
, ,
.
,
.
.
,
, .
. ,
,
: ,
, ,
,
, ,
,
.
.
,
.
.
.
,
.
.
,
,
.
.
, .
.
, . ,
, .
70%
, .
30, 45
90 ( -1).
.
(125...150)*105 /2.
, , , ,
, ,
.
.
.
.
. 1.
. - :
, ,
.
.
0.003...0.004 .
:
.
.
(3 /)
105 . ,
10-8 3/.
,
, .
.
-,
.
- ,
. ,
. ,
,
(3...5)*105 .
(3...48) , ,
. ,
-2 .
, .
,
.
, .
- .
: (100...200/),
.
,
,
10...15 . -
, .. 700
70...120. .
,
. ,
. ,
, - 700/,
.
- .
- - .
.
200 .
,
, ,
.
(95...98%) (405) .
.
. ,
.
,
, , -
.
:
.. , .,
1991.
..
., 1979.
-